企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 山东 济南 济南市 |
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公司地址: | 山东省济南市高新技术产业开发区临港北路5576号1号楼206室 |
发布时间:2021-11-19 03:56:00 作者:巴克超声波
此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短,对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少,对控制成本及环境保护有利。
随着集成电路制程工艺节点越来越***,对实际制造的几个环节也提出了新要求,清洗环节的重要性日益凸显。
清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小,半导体对杂质含量越来越敏感,而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响,实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率,还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗,清洗步骤约占整体步骤的33%。
单槽超声波清洗机不锈钢制品单工位旋转喷淋清洗机定制
该清洗机主要由输送装置、清洗腔体、储液箱(除油过滤系统)、喷淋系统、自动温控加热系统、风切吹水系统、排风装置、控制系统、机架、自动下料等组成。具体结构见附图和以下的说明。设备的配电设施是独立的电控柜。
1. 清洗成本低:可使用普通水或酒精加少许溶剂作为清洗剂,省去一定人工成本;
2. 性:采用换能器清洗效果好,超声波功率强劲,;
3. 批量连续性:超声波清洗设备可长时间连续工作,适应批量生产;
4. 节能环保:整个清洗工序为自动超声模式,杂志均沉淀于于清洗液体中,无粉尘污染无噪音;
旋转式高压喷淋清洗机的清洗效果高吗?不锈钢制品单工位旋转喷淋清洗机定制
旋转式髙压全自动自动喷淋系统清洗机如果是自动化机械的话,绝大多数都是比较高的。超声波清洗机的面世为的就是节省人力资源资源优化配置,更更快速的开展清洗。超声波清洗机的主要参数,可以适当的参考一下:1.頻率:≥20KHz,可以分为低頻,高频率,高频3段。2.清洗化学物质:采用超声波清洗,一般两类清洗剂:分析化学分析化学溶液、水溶性清洗剂等。清洗化学物质的有机化学效应,可以加速超声波清洗实际效果,超声波清洗是物理作用,二种作用紧密联系,以对物品进行充裕、的清洗。3.功率密度:功率密度=敏感度(W)/消息提醒占地面积(cm2)一般
≥0.3W/cm2,超音波的功率密度越高,空化实际效果越强,速度越快,清洗实际效果越好。但对于精密的机器设备生产加工的、表层光泽度甚高的物品,采用长期性的高功率密度清洗会对物品表层导致“空化”腐蚀。4.超声波频率:超声波频率越低,在液体中导致的空化越很容易,导致的力度大,作用也越强,可以用商品产品商品产品工件(粗、脏)初洗。頻率高而超音波专一性强,可以用细腻的物品清洗。5.清洗温度:一般来说,超音波在30℃-40℃时的空化实际。清洗剂则溫值越高,作用越显著。一般
实际应用超音波时,采用50℃-70℃的工作温度。
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